Unimolecular Decomposition of Sputtered<mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" display="inline"><mml:mrow><mml:mmultiscripts><mml:mrow><mml:mi mathvariant="normal">Al</mml:mi></mml:mrow><mml:mrow><mml:mi>n</mml:mi></mml:mrow><mml:mrow/><mml:mrow/><mml:mrow><mml:mo>+</mml:mo></mml:mrow></mml:mmultiscripts></mml:mrow></mml:math>,<mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" display="inline"><mml:mrow><mml:mmultiscripts><mml:mrow><mml:mi mathvariant="normal">Cu</mml:mi></mml:mrow><mml:mrow><mml:mi>n</mml:mi></mml:mrow><mml:mrow/><mml:mrow/><mml:mrow><mml:mo>+</mml:mo></mml:mrow></mml:mmultiscripts></mml:mrow></mml:math>, and<mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" display="inline"><mml:mrow><mml:mmultiscripts><mml:mrow><mml:mi mathvariant="normal">Si</mml:mi></mml:mrow><mml:mrow><mml:mi>n</mml:mi></mml:mrow><mml:mrow/><mml:mrow/><mml:mrow><mml:mo>+</mml:mo></mml:mrow></mml:mmultiscripts></mml:mrow></mml:math>Clusters