Performance of thin pixel sensors irradiated up to a fluence of <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" altimg="si0010.gif" overflow="scroll"><mml:msup><mml:mrow><mml:mn>10</mml:mn></mml:mrow><mml:mrow><mml:mn>16</mml:mn></mml:mrow></mml:msup><mml:mspace width="0.25em"/><mml:msub><mml:mrow><mml:mi mathvariant="normal">n</mml:mi></mml:mrow><mml:mrow><mml:mi mathvariant="italic">eq</mml:mi></mml:mrow></mml:msub><mml:mspace width="0.25em"/><mml:msup><mml:mrow><mml:mi>cm</mml:mi></mml:mrow><mml:mrow><mml:mo>−</mml:mo><mml:mn>2</mml:mn></mml:mrow></mml:msup></mml:math> and development of a new interconnection technology for the upgrade of the ATLAS pixel system