Optik Kalite Germanyum Alttaşın Tek Nokta Kristal Elmas ile Tornalanmasının İncelenmesi

Bu çalışma, optik kalite tek kristal germanyum lenslerin tornalanmasında kesme parametrelerinin yüzey pürüzlülüğü (Sa) üzerindeki etkisini incelemektedir. 40 mm çap, 2 mm kalınlıktaki numuneler ultra hassas tek nokta elmas tornalamada işlenmiş, yüzeyler Fizeau ve beyaz ışık interferometreleriyle karakterize edilmiştir. Sa değerlerine eşlik eden topografik yükseklik haritaları türetilmiştir. Deneyler, 3×2×2 faktöriyel tasarım altında yürütülmüştür (V: 1000–3000 rpm; d: 3–6 µm; fr: 2–5 mm/dk). Takım geometrisi sabit tutulmuştur (talaş açısı γ=−25°, boşluk açısı α=10°). En iyi Sa değeri 1.065 nm olarak elde edilmiş ve bu değer kabul edilen 4.640 nm sınırının belirgin biçimde altındadır. Ölçümlerden elde edilen veri setiyle, Sa’yı parametrelerle ilişkilendiren lineer ve lineer olmayan iki tahmin modeli kurulmuştur. Tasarım, üretim ayarlarının hızlı taranmasına ve etkileşimlerin (V–d–fr) anlaşılmasına olanak vermiştir. Modeller, 1–3 nm hedef aralığına inmek için pratik ayar pencereleri ve duyarlılık bilgisi sağlamaktadır. Çalışma, yerinde proses optimizasyonu için uygulanabilir bir çerçeve sunar.